真空系統(tǒng)實際上是真空機組的相似名稱。真空裝置是一個由多個真空泵組成的閉環(huán)真空裝置。它沒有某些設(shè)備，例如散熱器和冷凝器。真空系統(tǒng)通常被稱為完整的組件范圍。有各種各樣的真空應(yīng)用，但是無論真空應(yīng)用如何，都有一種抽氣系統(tǒng)可以從抽氣的容器中除去氣體，從而在真空容器中獲得所需的真空條件。例如：一個真空處理容器，該容器通過管道和閥門連接到真空泵。當(dāng)真空泵抽吸容器時，容器具有真空測量裝置，該真空測量裝置構(gòu)成最簡單的真空抽吸系統(tǒng)。那么真空系統(tǒng)與單元相比有多少個泵?這是不確定的。首先讓我們了解可能存在的泵的術(shù)語。
主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需真空度以滿足特定工藝要求的真空泵，例如真空涂布機中的油擴散泵就是主泵。
前級泵：一種真空泵，用于將真空泵的前級壓力保持在其臨界前級壓力以下。 如羅茨泵之前配置的旋轉(zhuǎn)泵或滑閥是前級泵。
粗泵：從大氣壓泵送并將系統(tǒng)壓力泵送至另一個開始工作的真空泵。例如，真空涂布機中的滑閥泵是原油泵。
維護泵：在真空系統(tǒng)中，氣體量太少而無法有效利用前級泵。為此，提供了一個較小容量的輔助泵來維持主泵的運行。該泵稱為維護泵。如果在擴散泵的出口安裝了小型旋片泵，則必須維護該泵。
實際上，簡單的真空系統(tǒng)只能獲得粗糙的真空。如果要獲得高真空，通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)連接高真空泵，這是一種比如羅茨泵和螺桿泵獲得更高真空的泵。當(dāng)高真空泵串聯(lián)連接時，通常在高真空泵的入口和出口增加一個閥門，以便高真空泵可以單獨保持真空,恒才(m.lengchidao.com)如果串聯(lián)連接的高真空泵是油擴散泵，為了防止大量油蒸氣倒流到泵浦容器中，通常會設(shè)置一個疏水閥——在油擴散泵的入口處添加。水冷擋板。根據(jù)需要，還可以在管道上增加除塵器，真空繼電器表頭，真空軟連接管，真空泵入口放氣閥，散熱器等，從而形成相對完整的高真空系統(tǒng)。