真空泵是指使用機(jī)械，物理，化學(xué)或物理化學(xué)方法排空泵送容器以獲得真空的裝置或設(shè)備。一般而言，真空泵是使用各種方法來改善，產(chǎn)生和維持封閉空間中的真空的裝置。

　　真空泵分類

　　根據(jù)真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩類，即可變?nèi)萘空婵毡煤蛣恿總鬟f泵。

　　可變?nèi)萘空婵毡檬且环N真空泵，它利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣，從而達(dá)到抽氣的目的。氣體在離開泵腔之前被壓縮。

　　動量傳遞泵(分子真空泵)依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流將動量傳遞給氣體或氣體分子，從而使氣體從泵的入口連續(xù)傳輸?shù)狡涑隹凇?/span>

　　可變?nèi)萘空婵毡梅譃椋和鶑?fù)式，旋轉(zhuǎn)式(旋片，滑閥，液環(huán)、澆注區(qū)，螺旋，爪形轉(zhuǎn)子)和其他類型。

　　澆注區(qū)和冷刀區(qū)的設(shè)備使用可變?nèi)萘康谋?。下面詳?xì)描述可變?nèi)萘勘谩?/span>

　　可變?nèi)萘勘梅诸?/span>

　　1、往復(fù)式真空泵

　　通過活塞在泵腔中的往復(fù)運(yùn)動，氣體被吸入，壓縮和排出。也稱為活塞真空泵。有關(guān)詳細(xì)說明，請參見以下視頻：

　　2、旋片真空泵

　　利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子零件的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，氣體被吸入，壓縮和排出。它大致分為以下幾類：

　　1)油封真空泵

　　它是一種旋轉(zhuǎn)可變?nèi)萘空婵毡茫褂?/span>真空泵油來密封泵中運(yùn)動部件之間的間隙，并減少泵中的有害空間。該泵通常配有氣鎮(zhèn)設(shè)備。它主要包括旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，固定葉片真空泵，滑閥真空泵和擺線真空泵。

　　2)液環(huán)真空泵

　　泵殼中帶有多葉片的偏心轉(zhuǎn)子。當(dāng)其旋轉(zhuǎn)時，工作流體在泵殼處拋出，形成與泵殼同心的液環(huán)。在液環(huán)和轉(zhuǎn)子葉片形成具有周期性體積變化小的幾個可變?nèi)莘e的吸入和排出腔室。工作流體通常是水或油，因此也稱為水環(huán)真空泵或油環(huán)真空泵。

　　3)干式真空泵

　　這是一個可變?nèi)萘康恼婵毡茫瑳]有被泵中的油(或液體)密封。由于在干式真空泵的泵腔中不需要工作液體，因此適用于需要無油清潔真空環(huán)境的半導(dǎo)體工業(yè)，化學(xué)工業(yè)，制藥工業(yè)和食品工業(yè)中的過程應(yīng)用。內(nèi)部工廠的研磨設(shè)備就是這種真空泵，沒有液體密封。

　　4)澆注區(qū)0真空泵配有兩個雙葉或多葉轉(zhuǎn)子，它們同時沿相反方向旋轉(zhuǎn)。在轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵殼的內(nèi)壁之間保持一定的間隙。

　　選擇真空泵時需要注意哪些參數(shù)?

　　1、真空泵極限壓力

　　泵的極限壓力單位為Pa，是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)測試蓋并按照指定條件工作時的最低壓力。

　　2、真空泵抽速

　　泵的泵送速率單位為立方米/秒或L/S，這意味著當(dāng)泵被根據(jù)指定的條件配備了標(biāo)準(zhǔn)測試罩和工作時，氣體從測試罩流量流動，并在測得的測試罩的指定位置平衡壓力比。簡稱為泵的抽速。

　　3、真空泵吸力

　　真空泵單元為Pa立方米/秒或PA L/S。指泵入口流量處的氣體。

　　4、真空泵啟動壓力

　　真空泵的啟動壓力單位為Pa，是指真空泵啟動時無損壞并具有泵送作用的壓力。

　　5、泵的前級壓力

　　真空泵的前壓力單位為Pa，是指排氣壓力低于一個大氣壓的真空泵的出口壓力。

　　6、真空泵的最大前級壓力

　　真空泵端口的最大前級壓力單位為Pa，這意味著它超過了可能損壞泵的前級壓力。

　　7、真空泵的最大工作壓力

　　真空泵的最大工作壓力單位為Pa，是指與最大泵送量相對應(yīng)的入口壓力。在此壓力下，泵可以連續(xù)工作而不會劣化或損壞。

　　8、壓縮比

　　壓縮比是給定氣體的泵出口壓力與入口壓力之比。

　　9、 澆注區(qū)系數(shù)

　　實(shí)際抽速在抽水通道面積上的比率與此處基于分子滲出計算的理論抽速的比率。

　　10、抽速系數(shù)

　　泵的實(shí)際泵送速度與通過泵入口處的分子滲出計算出的理論泵送速度之比。

　　11、回流速率

　　泵的回流速率的單位為g/cm2.s。它是指當(dāng)泵在規(guī)定條件下工作時通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流量。

　　12、允許的水蒸氣量

　　水蒸氣的允許量單位為kg/h，是指在正常環(huán)境條件下連續(xù)運(yùn)行期間氣鎮(zhèn)泵可以去除的水蒸氣質(zhì)量。

　　13、最大允許水蒸氣入口壓力

　　最大允許水蒸氣入口壓力單位為Pa。它是指在正常環(huán)境下，連續(xù)運(yùn)行期間氣鎮(zhèn)泵可以除去的最大水蒸氣入口壓力。