真空機(jī)組的高頻放電是在兩個電極之間存在交替的高頻電場時發(fā)生的放電形式。當(dāng)在放電管的兩端施加交流電壓時，氣體中的電子和正離子將在交流電場的作用下產(chǎn)生額外的共振。因為正離子的質(zhì)量比電子的質(zhì)量大得多，所以共振幅度非常小。

　　當(dāng)真空泵的頻率較低且共振振動的幅度遠(yuǎn)大于兩極之間的距離時，電子在每個半周期內(nèi)經(jīng)歷崩潰，放電和熄滅的整個過程。此時的放電情況與DC情況相同。當(dāng)頻率更高時，共振振動的幅度遠(yuǎn)小于兩極之間的距離，隨著電子的繼續(xù)來回移動，其電離能力將大大提高。因為電子共振的幅度非常小，所以進(jìn)入電極的電子數(shù)量將大大減少。

　　由于電子的擴(kuò)散速度快于離子，因此擴(kuò)散的結(jié)果是，在軸上出現(xiàn)正電勢，在管壁上出現(xiàn)負(fù)電勢，這又產(chǎn)生了一個由軸指向的靜電場。管壁。因此，放電管中有兩種類型的電場，一種是圍繞磁場線的渦旋電場，另一種是從軸指向管壁的靜電場。在這兩個電場的同時作用下，電子圍繞著軸移動，同時向著管壁膨脹，從而形成了一系列同心環(huán)。由于不同半徑的電子的能量不同，所以能級和激發(fā)量也不同，因此具有不同半徑的光環(huán)具有不同的顏色。

　　簡而言之，干式真空泵中的高頻放電實際上意味著電子繼續(xù)來回移動，并且電離能力得到增強(qiáng)。此功能可以減少設(shè)備的功耗并節(jié)省電費，從而節(jié)省使用成本并降低電路成本。