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晶圓減薄真空吸附為什么要用水環(huán)真空泵系統(tǒng)

發(fā)布時(shí)間: 2025 - 12 - 27

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深圳恒才真空引水機(jī)組優(yōu)勢

發(fā)布時(shí)間: 2025 - 12 - 26

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VG水環(huán)真空泵替代sk水環(huán)真空泵用于真空引水

發(fā)布時(shí)間: 2025 - 12 - 24

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行業(yè)資訊了解行業(yè)的最新資訊

2020 - 05 - 12

今天5月12日，春余夏首、夏花絢爛的日子,“深圳恒才機(jī)電設(shè)備有限公司”舉行了隆重的喬遷慶典;風(fēng)雨兼程，勵(lì)精圖治，不斷創(chuàng)新，隨著進(jìn)一步擴(kuò)大，公司再次踏上了新的臺(tái)階?！　∝瓎⒑降奶柦且秧懫?丨　　上午7點(diǎn)30分,各部門員工早早就來到了公司，現(xiàn)場熱火朝天有說有笑,會(huì)場布置井然有序,經(jīng)過大伙的一番努力,公司正式入駐新辦公樓。會(huì)客區(qū)、會(huì)議廳、休息區(qū)歡聲笑語、人聲鼎沸、場面非常熱烈?！　」径麻L陳總致詞，對公司所有同事的辛勤付出表示感謝，并展望了公司喬遷新址之后的未來;各部門依次分別向陳總表示祝賀，大家熱情交流，一同見證了這美好的時(shí)刻?！　∵w至新辦公區(qū)，是深圳恒才公司戰(zhàn)略性發(fā)展的一次飛躍，隨著公司全面布局的完善，今年將進(jìn)入一個(gè)更高速的發(fā)展時(shí)期。辦公區(qū)　　深圳恒才的愿景是成為受人尊敬的流體服務(wù)型企業(yè)，讓客戶使用到最合適的流體系統(tǒng)?！　】唇癯?，我們躊躇滿志，展未來，我們豪情滿懷;在恒才公司喬遷之際，非常感謝長期以來對我們給予支持和肯定的廣大客戶及與我們長期合作的伙伴，愿我們共同進(jìn)步，共同發(fā)展，共赴美好明天!

水環(huán)真空泵的原理,效率,應(yīng)用問題

2019 - 10 - 22

水環(huán)真空泵是一種應(yīng)用十分廣泛的真空泵,很多人想了解水環(huán)真空泵的原理和效率的問題,今天就給大家介紹一下.　　水環(huán)真空泵的原理　　水環(huán)真空泵主要用于粗抽和大抽的過程，并已廣泛用于化學(xué)，石油和輕工業(yè)領(lǐng)域。　　水環(huán)真空泵具有結(jié)構(gòu)簡單，易于制造，運(yùn)行可靠，使用方便，經(jīng)久耐用等優(yōu)點(diǎn)，可以抽出腐蝕性氣體，含塵氣體和氣水混合物。待泵送氣體的溫度優(yōu)選為20℃至40℃?！　∑渲校h(huán)真空泵是效率更高的雙作用水環(huán)真空泵。工作氣體溫度在-10°C到+40°C之間。水環(huán)真空泵廣泛用于各種工業(yè)領(lǐng)域，用于真空干燥和真空脫水。它特別適用于需要清潔和無油的真空泵工藝的真空系統(tǒng)，該工藝需要大量的水蒸氣溢出和洗煤廠和選礦廠的真空過濾?！　〕怂h(huán)真空泵外，油環(huán)真空泵也是液環(huán)真空泵的一種。它與水環(huán)真空泵之一不同之處在于，工作流體被變壓器油代替。除了密封以外，泵本身的結(jié)構(gòu)與水環(huán)真空泵沒有太大區(qū)別。為了使油環(huán)真空泵在適當(dāng)?shù)臏囟认鹿ぷ?，油環(huán)真空泵本身具有一個(gè)冷卻油箱(也稱為油分離器)?！　∷h(huán)真空泵是大中型機(jī)組中廣泛使用的冷凝器抽吸裝置。其功能是去除冷凝器中的非冷凝氣體，并確保并保持冷凝器真空。水環(huán)真空泵的工作流體的入口溫度對真空度有很大影響。降低真空泵工作流體的溫度可以有效地提高水環(huán)真空泵的性能?！　‘?dāng)工作水流量，吸入口力，吸入口溫度和轉(zhuǎn)速恒定且真空泵的工作水入口溫度高于設(shè)計(jì)水溫時(shí)，真空泵的吸入能力將相...

深圳真空泵廠家檢查水環(huán)真空泵的泄漏

2019 - 11 - 05

如果您想更好地使用產(chǎn)品，則需要對其有一個(gè)全面的了解。水環(huán)真空泵是相同的。接下來，我將介紹如何檢查水環(huán)真空泵的泄漏。您可以仔細(xì)閱讀了解它，并且使用該產(chǎn)品會(huì)有所幫助?！　?.檢查冷凝器的蒸汽出口是否關(guān)閉且沒有泄漏?！　?.檢查低壓缸排氣裝置的安全門是否完整并且沒有吸氣?！　?.檢查水環(huán)真空泵的水位計(jì)是否損壞或泄漏?！　?.檢查水環(huán)真空泵是否破壞了門并且沒有泄漏。　　5.檢查低壓加熱器在負(fù)壓下的水位是否正常以及地漏門是否緊固?！　?.檢查抽氣管與鋼瓶之間的真空連接是否泄漏。在此，當(dāng)減少負(fù)荷時(shí)漏氣減少，并且在增加負(fù)荷后真空度稍微升高?！　?.檢查速度控制水環(huán)真空泵的重力回水是否通向冷凝器。如果回水量較小，則不能密封水封袋，應(yīng)將水泵密封水返回到溝槽?！　?.檢查水環(huán)真空泵系統(tǒng)閥的水封，管，法蘭或焊接接頭是否緊固，尤其是膨脹水箱或鍋爐起動(dòng)器分離器與冷凝器管和閥端口的連接是否緊密?！　∪绻敫玫厥褂卯a(chǎn)品，則需要對其有一個(gè)全面的了解。水環(huán)真空泵是相同的。接下來，我們將介紹水環(huán)真空泵的間隙調(diào)節(jié)知識。您可以仔細(xì)閱讀以了解它，并且使用該產(chǎn)品會(huì)有所幫助?！　∷h(huán)真空泵的調(diào)節(jié)間隙沒有原理。所謂的間隙是轉(zhuǎn)子與泵壁之間的距離。該間隙是為了確保轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)不會(huì)摩擦前壁和后壁。舊泵磨損，無法根據(jù)手冊的大小進(jìn)行調(diào)整。調(diào)整間隙后，通過調(diào)整軸的位置使轉(zhuǎn)子運(yùn)動(dòng)，然后通過軸承和齒輪的定位使轉(zhuǎn)子無摩擦地工作。　　水環(huán)真空...

防止水環(huán)真空泵返油有什么方法

2019 - 11 - 06

隨著現(xiàn)代工業(yè)的不斷發(fā)展，各種真空泵裝置的使用頻率變得越來越頻繁。水環(huán)真空泵是使用最廣泛的泵送設(shè)備之一。但是，它在使用過程中常常引起返油，這也給企業(yè)的生產(chǎn)帶來一些麻煩。那么，有什么方法可以防止水環(huán)真空泵設(shè)備返油?　　1、軸封河道的靜態(tài)密封件應(yīng)牢固并及時(shí)更換?！　?、將燃油箱和排氣閥移至一側(cè)以減少油位并減少油量。　　3、水環(huán)真空泵基座的平面應(yīng)平坦，閥板應(yīng)具有彈性?！　?、將水環(huán)真空泵排氣閥附近的油與其他油分開。油位僅略高于隔墻?！　?、在油孔中添加一根管，以便油位僅略高于進(jìn)油口。　　6、設(shè)置水環(huán)真空泵的止返閥機(jī)構(gòu)，使其在停止時(shí)自動(dòng)關(guān)閉進(jìn)油口。　　7、設(shè)置油泵和輔助機(jī)構(gòu)，以在泵停止時(shí)切斷油路?！　?、水環(huán)泵端口配有充氣閥。　　以上是防止水環(huán)真空泵變油的方法。在實(shí)際應(yīng)用中，返油現(xiàn)象會(huì)嚴(yán)重影響泵設(shè)備的使用壽命，增加故障率和維護(hù)成本，因此必須做好及時(shí)的預(yù)防。行。另外，在長時(shí)間使用或使用不當(dāng)，維護(hù)不當(dāng)?shù)那闆r下，也容易出現(xiàn)返油現(xiàn)象，因此這兩個(gè)方面也應(yīng)盡力做好。

大神告訴你真空泵自動(dòng)跳閘和啟動(dòng)問題的解決方法

2019 - 11 - 08

經(jīng)常有客戶反應(yīng)：真空泵在運(yùn)行過程中常常出現(xiàn)自動(dòng)跳閘的問題，遇到這種情況怎么處理呢?螺桿真空泵啟動(dòng)困難的6大原因及排除方法你知道嗎?　　真空泵跳閘原因主要有以下幾點(diǎn)　　1.電機(jī)負(fù)載。真空泵電機(jī)負(fù)載，此時(shí)電流過高，如超過電控箱設(shè)置的電流時(shí)，真空泵會(huì)自行跳閘、脫閘，此時(shí)為真空泵的正常現(xiàn)象，可跳高電流保護(hù)上限來解決跳閘現(xiàn)象?！　?.真空泵長時(shí)間停用，如果停用時(shí)間過長電機(jī)負(fù)載會(huì)導(dǎo)致暫時(shí)性電流過高，此時(shí)封閉真空泵進(jìn)氣口運(yùn)行使泵體加熱即可?！　?.真空泵電機(jī)接在兩相電源上，未啟動(dòng)三相電源，可接通真空泵三相電源即可，如果運(yùn)轉(zhuǎn)十小時(shí)左右還出現(xiàn)跳閘、脫閘等情況，還是調(diào)整電流上限即可?！　?.真空泵排氣口吸入異物或雜質(zhì)，電機(jī)負(fù)載，可拆開真空泵檢查內(nèi)部是否有故障等。　　大神告訴你螺桿真空泵啟動(dòng)困難的6大原因及排除方法　　1、螺桿真空泵啟動(dòng)前泵內(nèi)未充滿介質(zhì)或泵較長時(shí)間未啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)?！　∨懦椒ǎ郝輻U真空泵吸入室內(nèi)灌滿介質(zhì)，并轉(zhuǎn)動(dòng)泵軸?！　?、螺桿真空泵泵內(nèi)介質(zhì)凝固　　排除方法：加熱螺桿真空泵，降低介質(zhì)粘度。　　3、螺桿真空泵的橡膠定子與轉(zhuǎn)子配合過盈過大　　排除方法：更換螺桿真空泵過盈適當(dāng)?shù)牧慵??！　?、螺桿真空泵的軸封填料壓得過緊　　排除方法：調(diào)整螺桿真空泵填料壓蓋松緊?！　?、螺桿真空泵輸入電壓過低　　排除方法：調(diào)整螺桿真空泵電壓正常后啟動(dòng)?！　?、螺桿真空泵啟動(dòng)力矩過大　　排除方法：檢查并調(diào)整螺桿真空泵的...

水環(huán)真空泵的知識概括

2019 - 11 - 11

水環(huán)真空泵的工作原理: 水環(huán)真空泵是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空受制于結(jié)構(gòu)和工作環(huán)境,一般為 3～50 kPa 。水環(huán)真空泵主要由葉輪、泵體、圓盤(設(shè)有吸氣口、排氣口)等幾部分組成。葉輪偏心安裝在泵體中,當(dāng)葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí),水被拋向泵體并形成與泵體同心的水環(huán),水環(huán)和葉輪形成一個(gè)月牙形的空間。隨著葉輪的旋轉(zhuǎn),葉輪輪轂、葉片和水環(huán)形成的空腔由小變大,通過吸氣口吸氣,再由大變小,通過排氣口排氣.　　水環(huán)真空泵具有結(jié)構(gòu)簡單、使用維修方便、氣體等溫壓縮、適宜抽吸和壓縮易燃易爆氣體、可抽除含塵、含水氣體等特點(diǎn)。　　水環(huán)真空泵在化工、煤礦、制藥、輕工、造紙、冶金、石化、礦山、發(fā)電、食品以及廢氣的回收利用等行業(yè)中已成為最廣泛應(yīng)用的真空獲得設(shè)備,特別是在航空、航天工業(yè)模擬試驗(yàn)中,運(yùn)行安全、穩(wěn)定。目前,單臺(tái)水環(huán)真空泵機(jī)組的氣量達(dá)到70000 m3/h 以上,功率達(dá)到1700 kW 以上?！　〗陙?隨著國家對真空獲得設(shè)備需求的發(fā)展,水環(huán)真空泵正向大型化、成套化、高真空、大抽氣量方向發(fā)展。水環(huán)真空泵已發(fā)展成為成熟的、各行業(yè)發(fā)展所必需的通用設(shè)備,但目前有關(guān)水環(huán)真空泵(包括水環(huán)壓縮機(jī))實(shí)際能效值的研究很少。為了能不斷地促進(jìn)我國水環(huán)真空泵設(shè)備的技術(shù)進(jìn)步,更好地貫徹落實(shí)國家節(jié)能減排的重大決策,推廣高效節(jié)能的真空泵產(chǎn)品。

水環(huán)真空泵故障如何排除？

2019 - 11 - 13

水環(huán)真空泵(稱為水環(huán)泵)是一種粗糙的真空泵，可以實(shí)現(xiàn)2000?4000Pa的極限真空度和270?670Pa的串聯(lián)大氣壓注射器。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱為水環(huán)壓縮機(jī)，這是一種低壓壓縮機(jī)，壓力范圍為1至2 × 10 Pa表壓。水環(huán)泵最初用作自吸泵，并逐漸用于許多工業(yè)部門，例如石油，化工，機(jī)械，采礦，輕工，醫(yī)藥和食品?！　∷h(huán)真空泵由葉輪，泵體，吸排氣板，形成在泵體內(nèi)壁上的水水環(huán)，吸氣口，排氣口和輔助排氣閥組成。　　常見故障及排除方法　　1、真空泵不夠　　可能的原因：電動(dòng)機(jī)電源不足導(dǎo)致速度不足;供水不足;葉輪和分配板之間的間隙過大;機(jī)械密封損壞導(dǎo)致漏水;葉輪過度磨損;　　處理：檢查電源電壓是否在電動(dòng)機(jī)的額定電壓范圍內(nèi);增加供水量(必須控制在正確的范圍內(nèi)，否則電動(dòng)機(jī)將因熱量而過載);調(diào)整葉輪和分配板之間的間隙(通常為0.15-0.20 Mm);更換機(jī)械密封;更換葉輪;查看水口行。　　2、無法啟動(dòng)或啟動(dòng)噪音　　可能的原因：電機(jī)電源電壓不足;電機(jī)異相;泵長時(shí)間使用不生銹。泵吸碎屑;葉輪拖動(dòng)分配板。　　處理：檢查電源電壓是否過低;檢查電機(jī)接線是否牢固;如果長時(shí)間不使用泵，可以添加除銹劑或打開泵蓋以去除銹;打開泵蓋以清除碎屑;調(diào)整葉輪到配電盤的距離。　　3、電機(jī)過熱　　可能的原因：電動(dòng)機(jī)過載，電動(dòng)機(jī)過載;電機(jī)異相;通風(fēng)孔被堵塞;葉輪拖動(dòng)其他組件。　　處理：將供水量減少到正常范圍(參見...

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第三十三界“橡塑節(jié)能環(huán)保技術(shù)交流會(huì)”圓滿閉幕

2019 - 05 - 29

2019年5月22日由SPECK主辦&深圳恒才機(jī)電協(xié)辦的橡塑業(yè)節(jié)能環(huán)保技術(shù)交流會(huì)在廣州琶洲白云會(huì)議室舉行，參加此次橡塑業(yè)節(jié)能環(huán)保論壇的有來自全國各個(gè)地區(qū)的人民；多家企業(yè)負(fù)責(zé)人、投資人和橡塑界精英，本次論壇還盛情邀請了高分子協(xié)會(huì)黨委副書記兼紀(jì)委書記王文廣先生等嘉賓隆重出席。論壇正式啟動(dòng)后，由SPECK車經(jīng)理首先進(jìn)行演講“擠出成型應(yīng)用與SPECK次世代真空節(jié)能單元、材擠壓成型的真空領(lǐng)域和終端用戶的新材發(fā)展（以前，現(xiàn)在及未來）。期間介紹新款變頻液環(huán)真空泵，與工業(yè)4.0的核心理念正完全契合，它實(shí)時(shí)監(jiān)控并計(jì)算來實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線/產(chǎn)品/制程的升級優(yōu)化，在制造領(lǐng)域形成資源、信息、物品和人的相互關(guān)聯(lián)的“信息物理系統(tǒng)”，推進(jìn)制造業(yè)向智能化轉(zhuǎn)型。車經(jīng)理說,根本性的改變已經(jīng)開始，節(jié)能是要求，但我們要的不僅僅是節(jié)能，不是簡單的設(shè)備工程解決方案，而是向靈活、受控分散和緊湊的分離單元能源密集型解決方案。隨著車經(jīng)理的演講讓現(xiàn)場的來賓對節(jié)能環(huán)保產(chǎn)品產(chǎn)生了高濃的興趣。接下來，由深圳恒才陳總為大家?guī)砭实姆窒?，陳總分別對橡塑行業(yè)的塑料、樹脂、熱固性塑料、熱塑性塑料等進(jìn)行專業(yè)解說,之前有些行業(yè)中使用的機(jī)械造成二次污染難以解決，機(jī)械泵效率低能耗高，故障率頻繁等問題，陳總為大家將這些專業(yè)的問題做了完美的解答，并展示進(jìn)行改造后的成功案例。陳總說，我們致力于可持續(xù)生產(chǎn)力，節(jié)能、環(huán)保、高效，我們堅(jiān)持對客...

2BV水環(huán)式真空泵介紹

2018 - 03 - 23

一、2BV水環(huán)真空泵介紹康斯頓2BV水環(huán)空泵是利用西門子技術(shù)，自主生產(chǎn)的具有國際領(lǐng)先水平的真空泵，2BV水環(huán)真空泵是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，其材質(zhì)有鑄鐵、不銹鋼等。2BV水環(huán)真空泵應(yīng)用在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等。由于水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)真空泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視，因此，2BV水環(huán)真空泵應(yīng)用日益增多。二、2BV水環(huán)真空泵工作原理當(dāng)2BV水環(huán)真空泵的葉輪逆市方針旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪盒相切，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸。此時(shí)葉輪輪殼與水環(huán)內(nèi)界面之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被2BV水環(huán)真空泵的葉輪葉片分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。...

羅茨真空泵開機(jī)和運(yùn)行注意事項(xiàng)有哪些？

2018 - 06 - 20

在很多的領(lǐng)域當(dāng)中，羅茨真空泵都有得到充分的應(yīng)用，比如化工、航空等等各大領(lǐng)域得機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)當(dāng)中都可以使用這一設(shè)備，通過長期的實(shí)踐已經(jīng)證明了羅茨真空泵真正的實(shí)力和優(yōu)勢所在。不過在操作的時(shí)候包括開機(jī)以及運(yùn)行應(yīng)該要按照規(guī)范嚴(yán)格的去進(jìn)行，具體來說，需要注意如下幾個(gè)方面的事項(xiàng)。一、注意羅茨真空泵在開機(jī)前的準(zhǔn)備在開機(jī)之前必須要檢查水箱里面的水位必須要達(dá)到3/4以上，羅茨真空泵廠家提醒如果不滿的話一定要補(bǔ)足水位。并且水箱內(nèi)所使用的水必須是干凈的，絕對不可以有泥沙之類的東西以免在運(yùn)轉(zhuǎn)中被帶入到管道中引起堵塞現(xiàn)象。同時(shí)羅茨真空泵廠家強(qiáng)調(diào)還要檢查相關(guān)位置的潤滑油油面的高度同樣的要達(dá)到高于3/4的位置，同時(shí)還要查看潤滑油的顏色，如果沒有那么純凈，已經(jīng)有發(fā)黑之類的現(xiàn)象，那么應(yīng)該要徹底的換掉。二、注意按照正確的順序啟動(dòng)羅茨真空泵真空機(jī)組在做好開機(jī)前的準(zhǔn)備工作之后，羅茨真空泵廠家介紹可以先將中間泵和主泵的冷卻水的閥門打開，然后再按照規(guī)范要求慢慢的相應(yīng)的打開其他的閥門。高品質(zhì)的羅茨真空泵廠家還介紹等到整個(gè)系統(tǒng)的壓力到達(dá)中間的時(shí)候可以啟動(dòng)中間泵，并且按照手動(dòng)或自動(dòng)的操控方式進(jìn)行相應(yīng)的控制，最后啟動(dòng)主泵。三、注意羅茨真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)細(xì)節(jié)在正常運(yùn)行的情況下羅茨真空泵所有的組件之間都是非常和諧的，不會(huì)有異常的震動(dòng)，或者是雜音出現(xiàn)。羅茨真空泵廠家介紹這時(shí)候要觀察以及相應(yīng)的位置溫度是否有升高，溫度不能夠超過相應(yīng)的范圍，否則表示有問題，...

什么是渦旋離心泵？

2018 - 08 - 16

SPECK品牌小型離心泵適用于化學(xué)藥液、水油的抽送、循環(huán)、排放等，廣泛應(yīng)用于電鍍、電子、化工、皮革、染整廢水、廢氣、冷卻、焊接等等行業(yè)。不銹鋼、銅塑料等材質(zhì)供選擇。耐高溫、耐腐蝕，是同軸離心泵中的佼佼者，那么離心泵又分為兩種，一種是渦旋離心泵，一種是徑向離心泵，今天來了解一下什么是渦旋離心泵？一.渦旋泵是離心葉片泵的一種，其主要工作機(jī)構(gòu)包括葉輪、泵體和泵蓋，以及由它們所組成的環(huán)形流道。液體由吸入管進(jìn)入流道，并經(jīng)旋轉(zhuǎn)的葉輪獲得能量，被輸送到排出管，完成丟人工作過程，二.漩渦泵的工作原理、結(jié)構(gòu)以及特性曲線的形狀等均與離心泵不同，是一種小流量、高揚(yáng)程的泵，其比轉(zhuǎn)速一般小于40。三、旋渦離心泵的優(yōu)點(diǎn)1、旋渦泵是一種結(jié)構(gòu)簡單的高揚(yáng)程泵。與尺寸、轉(zhuǎn)速相同的離心泵相比，其揚(yáng)程要高3~9 倍。與相同揚(yáng)程的容積式泵相比，其尺寸要小，結(jié)構(gòu)也簡單的多。旋渦泵體積小，重量輕的特點(diǎn)在船舶裝置中具有極大的優(yōu)越性。2、大部分旋渦泵具有自吸能力，或借助簡單的裝置來實(shí)現(xiàn)自吸。3、旋渦泵具有陡峭的揚(yáng)程特性曲線。其揚(yáng)程的變化對流量的影響較離心泵為小，因此，對系統(tǒng)的壓力波動(dòng)不敏感。4、很多旋渦泵能實(shí)現(xiàn)氣液混輸，這對于輸送含有氣體的易發(fā)揮的液體和汽化壓力很高的高溫液體具有重要的意義。5、旋渦泵結(jié)構(gòu)簡單，鑄造和加工都容易實(shí)現(xiàn)，某些旋渦泵零件可使用非金屬材料模壓。

羅茨真空機(jī)組的知識大全

2018 - 10 - 26

羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。其結(jié)構(gòu)形式是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來的。它于 1944 年首先出現(xiàn)于德國，是為適應(yīng)在 10 ～ 1000Pa 壓力范圍內(nèi)具有大抽速的真空熔煉系統(tǒng)而作為機(jī)械增壓泵，必須與前級泵組合成羅茨真空泵機(jī)組才能使用，羅茨真空機(jī)組在、造紙、食品、電子工業(yè)、冶金、石油化工等都有應(yīng)用到。根據(jù)羅茨真空泵工作壓力范圍的不同，分為直排大氣的低真空羅茨泵；中真空羅茨泵和高真空多級羅茨泵。國內(nèi)用量最多的為中真空羅茨泵 ( 以下簡稱羅茨泵 ) 。羅茨泵與其它油封式機(jī)械泵相比有以下特點(diǎn)： 1、在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速； 2、轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速； 3、泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染； 4、泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感； 5、壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差； 6、轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。怎么選擇羅茨真空機(jī)組： 1.羅茨真空機(jī)組的壓縮比，羅茨泵真空機(jī)組的羅茨泵與前級泵的抽速比的選擇是很重要的。因?yàn)榱_菠泵的壓縮比很有限。這一壓縮比決定著前級泵的容越，因壓縮比是兩者抽速...

螺桿真空泵相對其它泵的優(yōu)勢

2019 - 03 - 05

新一代螺桿真空泵以其高效節(jié)能的優(yōu)勢替代旋片真空泵、水環(huán)真空泵等進(jìn)入市場，很多客戶看到其節(jié)能的可觀利潤都來尋問是否可以替代，但價(jià)格相對比過高又使其猶豫。螺桿真空泵的價(jià)格相對比較高，但長遠(yuǎn)來看還是節(jié)省電費(fèi)驚人，基本一年就可以收回成本，更高效率的情況還是選擇螺桿是明智的。今天我們就來看一下螺桿真空泵的優(yōu)勢。 1. 某陶瓷公司螺桿真空泵與水環(huán)真空泵對比，選擇相近抽速的水環(huán)真空泵（以阿特拉斯水環(huán)真空泵為例，見下頁參數(shù)），應(yīng)選擇5臺(tái)AWS1600，功率消耗為45千瓦，AWS1600水環(huán)泵，使用15℃冷凍水，抽速1600M3/小時(shí)，使用30℃普通水，抽速1600M3/小時(shí)*80%=1280M3/小時(shí)，對比：阿特拉斯GHS1300VSD+真空泵每臺(tái)配機(jī)功率22千瓦，真空需求量減少時(shí)，自動(dòng)變頻降低轉(zhuǎn)速，最低負(fù)荷可降至5千瓦， ① 電費(fèi)按0.8元/kWh計(jì)算② 真空泵每年工作6000小時(shí)（每天20小時(shí)，每年300天） 5臺(tái)GHS1300VSD+變頻螺桿泵負(fù)壓站： - 運(yùn)行總功耗22*5=110千瓦，生產(chǎn)負(fù)荷降低時(shí)可變頻調(diào)節(jié)流量，更加節(jié)能。 5臺(tái)4...

真空鍍膜設(shè)備中的真空泵如何進(jìn)行維護(hù)？

2019 - 04 - 19

大家都知道在真空鍍膜設(shè)備中必須要用到真空泵，那么真空鍍膜設(shè)備在運(yùn)作的時(shí)候它會(huì)產(chǎn)生一些熱量，如果是天氣也是很高溫的情況下，氣溫就會(huì)上漲，那么對真空鍍膜設(shè)備的負(fù)重也是會(huì)有所增加的，在這樣的情況中，如下對我們的真空泵進(jìn)行維護(hù)呢？下面跟著張工總結(jié)了五大點(diǎn)，一起來學(xué)習(xí)一下。第一點(diǎn)、防止真空泵或者避免真空泵放置在陽光底下，盡量讓真空泵處于陰涼的地方, 在室外放置的真空泵要注意不能讓真空泵暴曬在陽光下，本身真空泵在工作時(shí)間溫度就高,如果熱量很難散發(fā)出去的話,真空泵溫度就會(huì)升高，而且達(dá)到真空泵的零界溫度,就會(huì)出現(xiàn)機(jī)械故障!第二點(diǎn)、真空泵要處于通風(fēng)位置，真空泵所放的位置要通風(fēng)，或者室內(nèi)裝有降溫裝置也可以!愿意也是一樣的，只是為了讓真空泵的散熱性能更好,盡可能的降低真空泵的工作溫度。第三點(diǎn)、真空泵的耗材要及時(shí)更換，最主要的又是油霧分離器(排氣濾芯)和油，這兩種耗材一定要及時(shí)的更換。排氣過濾器如果一旦出現(xiàn)報(bào)廢或者其他質(zhì)量問題時(shí)第一時(shí)間更換，油出現(xiàn)了顏色變色、沉淀物增多、開始出現(xiàn)乳化等現(xiàn)象時(shí)不能僅僅停留在加油的保養(yǎng)，要全部更換真空泵油。第四點(diǎn)、對真空泵進(jìn)行清洗和保養(yǎng)，在天氣炎熱前對真空泵進(jìn)行一次全面的清洗和保養(yǎng)。第五點(diǎn)、要對真空泵進(jìn)行常規(guī)維修保養(yǎng)，以上五點(diǎn)就是張工對真空泵在真空鍍膜設(shè)備中使用的維護(hù)注意事項(xiàng)，有更多的意見探討聯(lián)系深圳恒才機(jī)電設(shè)備有限公司。

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真空泵如何改造成中央真空泵系統(tǒng)

日期： 2025-07-31

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將分散的真空泵改造成中央真空泵系統(tǒng)，可通過設(shè)備選型與整合、系統(tǒng)設(shè)計(jì)優(yōu)化、自動(dòng)化控制升級、節(jié)能與環(huán)保措施、系統(tǒng)測試與維護(hù)等步驟實(shí)現(xiàn)，能顯著提升真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性、節(jié)能性及生產(chǎn)效率。以下是具體改造步驟及要點(diǎn)分析：

一、設(shè)備選型與整合

核心設(shè)備選擇：根據(jù)生產(chǎn)需求選擇合適的真空泵類型。例如，羅茨水環(huán)真空機(jī)組適用于需要集中抽真空且對真空度穩(wěn)定性要求較高的場景，如壓機(jī)分散小泵的改造；變頻油螺桿真空泵則因其節(jié)能空間大、維護(hù)成本低，常用于平板硫化機(jī)等設(shè)備的中央真空改造。
設(shè)備整合：將原有的多臺(tái)分散真空泵整合為中央真空系統(tǒng)，減少設(shè)備數(shù)量，降低占地面積。例如，將13臺(tái)2.2KW的VC-100旋片式真空泵替換為1臺(tái)15KW的阿特拉斯螺桿真空泵GHS 900 VSD+，實(shí)現(xiàn)節(jié)能率80%的同時(shí)，減少維護(hù)成本和人工成本。

二、系統(tǒng)設(shè)計(jì)優(yōu)化

真空管道布局：合理設(shè)計(jì)真空管道布局，確保氣體流動(dòng)順暢，減少壓力損失。管道直徑、長度和彎頭數(shù)量等參數(shù)需根據(jù)實(shí)際工況進(jìn)行優(yōu)化。
真空罐與儲(chǔ)氣罐配置：配置適當(dāng)容量的真空罐和儲(chǔ)氣罐，以穩(wěn)定系統(tǒng)真空度，減少真空泵啟停頻率。真空罐內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定上限值時(shí)，真空泵自動(dòng)停止運(yùn)行；當(dāng)真空度下降至下限值時(shí)，備用真空泵組自動(dòng)啟動(dòng)。
排水系統(tǒng)改造：對于水環(huán)真空泵，需優(yōu)化排水系統(tǒng)以減少水資源浪費(fèi)。例如，在入口加裝限流孔板，控制軸密封液用量；在后路管線上增設(shè)“U”型管，增加介質(zhì)流動(dòng)阻力并起到水封作用，減少丙烯氣等有害物質(zhì)的排放。

三、自動(dòng)化控制升級

PLC控制系統(tǒng)集成：采用PLC程序控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)的全自動(dòng)化控制。通過觸摸屏人機(jī)界面，可設(shè)定真空度上下限值、監(jiān)控系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)、實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制及報(bào)警保護(hù)等功能。
智能控制策略：引入變頻驅(qū)動(dòng)（VSD）技術(shù)，根據(jù)實(shí)際負(fù)荷需求自動(dòng)調(diào)節(jié)真空泵運(yùn)行速度，實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗。例如，Edwards真空泵EOSi系列通過閉環(huán)壓力控制和主動(dòng)式能耗管理，提高系統(tǒng)效率。

四、節(jié)能與環(huán)保措施

節(jié)能技術(shù)應(yīng)用：采用高效油氣分離器設(shè)計(jì)延長保養(yǎng)時(shí)間間隔；利用溫度管理控制實(shí)現(xiàn)水蒸汽處理能力優(yōu)化；通過磁懸浮軸承系統(tǒng)消除軸承轉(zhuǎn)動(dòng)中的摩擦損耗（如磁懸浮透平真空泵在造紙行業(yè)的應(yīng)用）。
環(huán)保材料使用：在真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中優(yōu)先選用無油配置，避免油氣揮發(fā)對生產(chǎn)環(huán)境造成污染。例如，中央真空系統(tǒng)在電子灌封環(huán)節(jié)的應(yīng)用，可滿足無塵生產(chǎn)車間的潔凈度要求。

五、系統(tǒng)測試與維護(hù)

性能測試：改造完成后需進(jìn)行系統(tǒng)性能測試，包括真空度穩(wěn)定性、抽氣速率、能耗等指標(biāo)驗(yàn)證，確保系統(tǒng)滿足設(shè)計(jì)要求。
維護(hù)計(jì)劃制定：建立定期維護(hù)計(jì)劃，包括真空泵油液更換、過濾器清洗、管道檢查等，確保系統(tǒng)長期穩(wěn)定運(yùn)行。

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高效抽氣能力：旋片真空泵通過轉(zhuǎn)子與旋片的協(xié)同運(yùn)動(dòng)，周期性改變泵腔容積，實(shí)現(xiàn)氣體的快速吸入與壓縮排放。其抽速范圍通常為0.5-150升/秒，單級泵極限壓力可達(dá)1帕，雙級泵更可低至6.5×10?²帕，能滿足電子晶圓吸附等工藝對真空度的嚴(yán)苛要求。結(jié)構(gòu)緊湊設(shè)計(jì)：機(jī)組小車采用一體化撬裝結(jié)構(gòu)，將泵體、電控系統(tǒng)、過濾器等部件集成于緊湊空間內(nèi)，占地面積小，便于在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線靈活布局。其輕量化設(shè)計(jì)（如電機(jī)直聯(lián)驅(qū)動(dòng)）進(jìn)一步減輕了設(shè)備重量，提升了便攜性。移動(dòng)靈活便捷：小車底部配備移動(dòng)輪，支持快速搬遷與多工位切換，尤其適用于需要頻繁調(diào)整設(shè)備位置的晶圓加工場景。部分機(jī)型還支持手自動(dòng)模式切換，確保在PLC損壞等緊急情況下仍能維持最低限度運(yùn)行。運(yùn)行穩(wěn)定可靠：旋片真空泵通過油膜密封與強(qiáng)制進(jìn)油潤滑設(shè)計(jì)，確保運(yùn)動(dòng)部件間的完美氣密性與恒定潤滑，同時(shí)減少有害空間對極限壓力的影響。其內(nèi)置的自動(dòng)防返油雙重保險(xiǎn)裝置與金屬絲網(wǎng)粗過濾器，可有效防止油返入被抽系統(tǒng)與固體塵粒吸入泵腔，保障設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行。維護(hù)簡便經(jīng)濟(jì)：機(jī)組小車結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)成本低。用戶可通過定期檢查油位、更換真空泵油（首次工作滿150小時(shí)后換油，之后每500小時(shí)換油）與油過濾器、清潔進(jìn)氣口濾網(wǎng)等常規(guī)操作，確保設(shè)備性能。其低成本、高性能的特點(diǎn)使其成為空間有限或預(yù)算敏感場景的理想選擇。安全防護(hù)完善：設(shè)備配備雙重密閉系統(tǒng)（充氣式電磁閥+機(jī)械止回閥）與排氣過渡器，可防止氣體倒流與油霧排放，避免晶圓污染或設(shè)備損壞。同時(shí)，其內(nèi)置的吸氣閥可在停泵時(shí)自動(dòng)隔離泵與被抽系統(tǒng)，防止油返入被抽系統(tǒng)，保障操作安全。適應(yīng)性強(qiáng)：旋片真空泵機(jī)組小車可單獨(dú)使用，也可與其他高真空泵（如分子泵）組成真空機(jī)組，以應(yīng)對不同工藝對真空度的差異化需求。例如，在晶圓鍵合工藝中，可先通過旋片泵快速抽至低真空，再切換至分子泵實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境，提升工藝效率。經(jīng)濟(jì)性高：機(jī)組小車采用無油設(shè)計(jì)（...

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