真空輸送，真空浸漬，真空過濾，真空單調，真空脫氣(鋼水處理)等低真空裝置需要具有高工作壓力和大排量的低真空抽油機，以及主泵這種低真空抽油機常用的往復式真空泵，油封真空泵，水蒸氣輻射泵，水環(huán)泵，羅茨泵等。使用的低真空抽油機也需要配備必要的粉塵收集器，單調罐等根據抽氣的清潔度，濕度或其他特殊要求。在緊固過程中水蒸氣會凝結成水滴，并與泵混合形成懸浮液，這不僅會導致真空度下降，還會使泵腔和轉子生銹，破壞密封面，導致泵的極限真空度下降。因此，重要的是防止水蒸氣污染機械泵。預防措施是：
(1)使用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵;
(2)油分離器，離心分離器或油水分離器，將混有水的機械泵油處理，然后將處理過的油用于泵中;
(3)使用吸水的單調劑;
(4)使用液氮冷阱，不僅有效地吸附水蒸氣，同時也可阻擋機械泵油從回流到高真空室。
油擴散泵真空系統污染和防止油擴散泵真空系統是最常見的真空系統，其真空范圍為1.3×10-3~1.3×10-5
Pa。畢竟由油擴散泵真空系統組成的各種真空裝置，常見的缺點是真空不能被抽空，或真空不能被泵送到原來的極限真空水平。它涉及真空室壁內的油蒸氣污染和真空過程中各種污染物的污染。預防方法是：
(1)定期清潔真空室。
(2)定期停止清洗油封機械真空泵和油金屬擴散泵。