光電真空系統(tǒng)-阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌螺桿真空機組：真空領(lǐng)域和減排系統(tǒng)

阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌螺桿真空機組應(yīng)用領(lǐng)域：

分析儀器、化工、食品加工、發(fā)電解決方案、半導(dǎo)體、平板顯示、可再生能源（太陽能、LED照明、儲能等）、石材、印刷包裝、家具木材等行業(yè)。

半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用：

晶圓制造過程中的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。

真空泵于半導(dǎo)體設(shè)備意義重大：

若半導(dǎo)體器件不同材料層之間混入氣體分子，會破壞器件的電學(xué)或光學(xué)性能，而真空系統(tǒng)可對芯片的性能和良率起決定性作用。

阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌螺桿真空機擁有VSD和設(shè)定點控制功能，而常規(guī)的真空泵是不具備這樣的功能的，可根據(jù)實際所需真空水平或速度，提供需求的真空氣量，避免造成浪費，Atlas螺桿真空泵是真空領(lǐng)域的節(jié)能減排真空系統(tǒng)，節(jié)能可達50%，深受用戶好評。